氣動(dòng)平衡器案例：半導(dǎo)體制造的搬運(yùn)好幫手

? ? ? ? ?來源：http://www.177ccc.com/? ? ? ? ?分類：氣動(dòng)平衡器? ? ? ? ?時(shí)間：2025.5.28

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，精密元件的搬運(yùn)和組裝是決定生產(chǎn)效率和產(chǎn)品優(yōu)良的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。晶圓、液晶面板等核心部件具有高價(jià)值和高潔凈度的要求。

半導(dǎo)體制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求要達(dá)到國際ISO標(biāo)準(zhǔn)，氣動(dòng)平衡器采用無油壓縮空氣為動(dòng)力，清潔無油運(yùn)行，徹底杜絕了潤滑油脂揮發(fā)導(dǎo)致的油污污染，適合無塵室、潔凈室長期運(yùn)行的要求。

由于氣動(dòng)平衡器運(yùn)行不使用電力，就杜絕了電火花和靜電的產(chǎn)生，有一定的防靜電設(shè)計(jì)，使用氣動(dòng)平衡器避免了對(duì)晶圓表面電路和液晶分子結(jié)構(gòu)造成損傷。

氣動(dòng)平衡器最快運(yùn)行速度可達(dá)到1m/s，是普通電動(dòng)葫蘆的2-6倍。在晶圓搬運(yùn)車間與面板車間，每小時(shí)搬運(yùn)量也影響產(chǎn)能上限，氣動(dòng)平衡器極快的運(yùn)行速度加上24小時(shí)連續(xù)不間斷運(yùn)行的能力，極大的提高了生產(chǎn)效率。

氣動(dòng)平衡器其特有的漂浮模式，通過在一定區(qū)間內(nèi)（例如龍升氣動(dòng)平衡器懸浮區(qū)間是400mm）實(shí)現(xiàn)負(fù)載“無重力”狀態(tài)，操作者僅需使用很小的力就能完成零部件的精確定位。尤其適合液晶面板的裝配等高精度工序。

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