氣動平衡器案例:半導體制造的搬運好幫手
2025-05-28 16:31:09瀏覽: 830次
? ? ? ? ?來源:http://www.177ccc.com/? ? ? ? ?分類:氣動平衡器? ? ? ? ?時間:2025.5.28
在半導體制造領域,精密元件的搬運和組裝是決定生產效率和產品優良的關鍵環節。晶圓、液晶面板等核心部件具有高價值和高潔凈度的要求。
半導體制造對生產環境的潔凈度要求要達到國際ISO標準,氣動平衡器采用無油壓縮空氣為動力,清潔無油運行,徹底杜絕了潤滑油脂揮發導致的油污污染,適合無塵室、潔凈室長期運行的要求。
由于氣動平衡器運行不使用電力,就杜絕了電火花和靜電的產生,有一定的防靜電設計,使用氣動平衡器避免了對晶圓表面電路和液晶分子結構造成損傷。
氣動平衡器最快運行速度可達到1m/s,是普通電動葫蘆的2-6倍。在晶圓搬運車間與面板車間,每小時搬運量也影響產能上限,氣動平衡器極快的運行速度加上24小時連續不間斷運行的能力,極大的提高了生產效率。
氣動平衡器其特有的漂浮模式,通過在一定區間內(例如龍升氣動平衡器懸浮區間是400mm)實現負載“無重力”狀態,操作者僅需使用很小的力就能完成零部件的精確定位。尤其適合液晶面板的裝配等高精度工序。
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